| 是否进口：否 | 加工定制：是 | 品牌：KOFLOC |
| 型号：3660 | 类型：质量流量控制器 | 测量范围：0-100m3/h |
| 精度等级：0.01 | 适用介质：气体&液体 | 工作压力：1MPa |
3660系列
日本KOFLOC
真空镀膜 晶圆测试KOFLOC-3660系列质量流量控制器 KOFLOC中国
3660系列设计精密，成本较低。广泛用于各个不同的领域
从实验室和研究开发项目 到各种仪器设备的标准采用机种
发挥了很好的实际效果，另外还有有各种衍生功能可选
真空镀膜 晶圆测试KOFLOC-3660系列质量流量控制器 KOFLOC中国性能参数
3660 | 3665 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-150SLPM |
精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
有效范围 | 2-*** | 5-*** |
重复性 | ±0.5%FS | |
响应时间 | 2秒 | 3秒 |
动作压差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
另有低压差、高压差产品可选 | ||
耐压 | 1.0Mpa | |
泄漏率 | 1*10-8pa·m?/s以下 | |
温度范围 | 5-45℃ | |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | |
材质 | 本体SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
密封圈VITON，选配NBR或FKM | ||
电气接口 | DB9 | |
模拟信号 | 0-5V输入/输出 | |
供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； | |
管路连接 | 标配1/4F9 | 标配3/8F9 |
选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 选配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
重量 | 约1000g | 约1500g |
真空镀膜 晶圆测试KOFLOC-3660系列质量流量控制器 KOFLOC中国电气连接
针脚/颜色 | 定义 |
1针脚/棕色 | 阀门全开/全闭 |
2针脚/白色 | 0-5V输出 |
3针脚/红色 | +15VDC |
4针脚/黑色 | 电源COM |
5针脚/黄色 | -15VDC |
6针脚/灰色 | 0-5V输入 |
7针脚/绿色 | 输出COM |
8针脚/兰色 | 输入COM |
9针脚/紫色 | 阀门电源输出 |
真空镀膜 晶圆测试KOFLOC-3660系列质量流量控制器 KOFLOC中国使用注明
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，***气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：在使用质量流量控制器的时候，进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。
四：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
五：通气体时，请先开气源，后设定值。
六：切勿在没有通气的情况下，对流量控制器进行设定a。
七：使用完以后，请将流量控制器值归零或断电。
八：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下、设定值是0的状态 再操作。
